气体 — 旁路原理
图A所示是气体蒸汽流通过传感器的流程图，该蒸汽是通过RHT1 和RHT2 加热的而形成的。从图B我们可以看到被测量的温度T1和T2的结果是截然相反的。两部分的温度与通过传感器的气体质量流量存在直接的比例关系。从电力学的角度来分析，温度T1和温度T2事实上是依赖于RHT1 和 RHT2电阻的温度。
图A
图B
图A显示了传感器的信号是怎么被测试到，并且将测试的结果放大转化成电信信号。传感器作为一个旁道被安装在主管道上，其中一个拥有专利权的流动阻力分配器根据不同的工业环境以及条件来负责分配不同比例的流量。这层流量部件包含着一叠拥有高精细层流不锈钢碟片，该碟片拥有与流量传感器相类似的特征。
气体 — 直接测量原理
直连式传感器的质量流量计在其直流通道中拥有两个伸出的不锈钢探头，一个是加热器探头、一个是温度传感器探头。这两个探头中间产生了一个恒温（ΔT），维持这个恒温所需要的能量与该质量流量率是成比例。通过这一基原理，质量流量可以在低压降的情况下被测量到，主要由调解流量所镶嵌的气体配件以及纱网所引起的（具体请见下图)。与传统的旁道热式质量流量计和质量流量控制器相比，该以恒温风速仪直接测量结构原理为基础的仪表的测量精度几乎不受湿度以及污染物的影响。
可以参照道威斯顿网站
参考资料：
- http://www.shakic.com/cp/product3.htm
- https://www.bronkhorst-china.com/service/technologies/thermal-mass-flow-measurement/